Titre: | Fragmentation of polystyrene during sputter deposition in the storing matter instrument |
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Auteurs: | Turgut, C., WIRTZ, T., Belmahi, M. and Philipp, P. |
Journal: | Surface and Interface Analysis |
Annee: | 2014 |
Volume: | 46 |
Pages: | 357-359 |
Equipe: | Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS |