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Publications: Articles

Article

Titre: Reactive DC magnetron sputtering of aluminum nitride films for surface acoustic wave devices
Auteurs: Assouar, M.B., Elmazria, O., Le Brizoual, L. and Alnot, P.
Journal: Diamond and Related Materials
Annee: 2002
Volume: 11
olabel_issue: 3-6
Pages: 413-417
Equipe: Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies

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