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Publications: Articles

Article

Titre: Characteristics of argon and helium plasmas created by microwave discharge at atmospheric pressure
Auteurs: Belmonte, T., Cardoso, R. P., Noel, C., Henrion, G. and Kosior, F.
Journal: Informacije Midem-Journal of Microelectronics Electronic Components and Materials
Annee: 2007
Volume: 37
olabel_issue: 3
Pages: 117-122
Equipe: Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS

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