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Publications: Articles

Article

Titre: Structural and mechanical properties of a-C:H and Si doped a-C:H thin films grown by LF-PECVD
Auteurs: Chouquet, C., Gerbaud, G., Bardet, M., BARRAT, S., Billard, A., Sanchette, F. and Ducros, C.
Journal: Surface and Coatings Technology
Annee: 2009
Volume: 204
olabel_issue: 9-10
Pages: 1339
Equipe: Département CP2S : Elaboration et Fonctionnalité de Couches Minces

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