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Publications: Articles

Article

Titre: Role of silicon on the growth mechanisms of CNx and SiCN thin films by N2/CH4 microwave plasma assisted chemical vapour deposition
Auteurs: Kouakou, P., Brien, M. Belmahi V., Hody, V., Migeon, H.N. and Bougdira, J.
Journal: Surface coating and technology
Annee: 2008
Volume: 203
Pages: 277-283
Equipe: Département CP2S : Elaboration et Fonctionnalité de Couches Minces

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