Titre: | Structure and chemical bonds in black Ti(C,N,O) thin films |
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Auteurs: | ChappE, J.M., MARCO DE LUCAS, M.C., Cunha, L., Moura, C., Pierson, J.F., Imhoff, L., HEINTZ, O., POTIN, V., Bourgeois, S. and Vaz, F. |
Journal: | Thin Solid Films |
Annee: | 2011 |
Volume: | 520 |
Pages: | 144-151 |
Equipe: | Département CP2S : Elaboration et Fonctionnalité de Couches Minces |