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Publications: Articles


Titre: Influence of substrate temperature on the structural, dielectric and optical properties of RF magnetron sputtered Ta2O5 films
Auteurs: Uthanna, S., Chandra, S.V. Jagadeesh, Rao, G. Mohan and Pierson, J.F.
Journal: IOP Conference Series: Materials Science and Engineering
Annee: 2010
Volume: 8
Pages: 012025
Equipe: Département CP2S : Elaboration et Fonctionnalité de Couches Minces

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