Titre: | Substrate temperature influenced physical behaviour of dc magnetron sputtered MoO3 films |
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Auteurs: | Uthanna, S., Nirupama, V., Hussain, O.Md. and Pierson, J.F. |
Journal: | Applied Surface Science |
Annee: | 2010 |
Volume: | 256 |
Pages: | 3133-3137 |
Equipe: | Département CP2S : Elaboration et Fonctionnalité de Couches Minces |