Congrés - Conférences

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1.	Assouar, M.B., Elmazria, O., Mortet, V., Jouan, P.-Y., Djouadi, M.A. and Alnot, P. Piezoelectric aluminum nitride films deposited by triode sputtering for surface acoustic wave devices Volume 273 , page 249-254. 2002 http://www.scopus.com/inw...aa8488d083e3ddc04057c91cb Equipe: Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies

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