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Congrés - Conférences

Conference

Titre: C-axis inclined ZnO films deposited by reactive sputtering using an additional blind for shear BAW devices
Auteurs: Link, M., Schreiter, M., Weber, J., Pitzer, D., Primig, R., Assouar, M.B. and Elmazria, O.
Journal: Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium
Annee: 2005
Volume: 1
Pages: 202-205
Equipe: Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies

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