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Congrés - Conférences

Conference

Titre: SAW pressure sensor for vacuum control applications
Auteurs: Nicolay, P., Elmazria, O., Sarry, F., Bouvot, L., Kambara, H., Singh, K.J. and Alnot, P.
Journal: 2009 IEEE International Frequency Control Symposium Joint with the 22nd European Frequency and Time Forum
Annee: 2009
Pages: 106-109
Equipe: Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies

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