Congrés - Conférences
Conference
| Titre: | Piezoelectric aluminum nitride films deposited by triode sputtering for surface acoustic wave devices |
|---|---|
| Auteurs: | Assouar, M.B., Elmazria, O., Mortet, V., Jouan, P.-Y., Djouadi, M.A. and Alnot, P. |
| Journal: | Ferroelectrics |
| Annee: | 2002 |
| Volume: | 273 |
| Pages: | 249-254 |
| Equipe: | Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies |