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Congrés - Conférences

Conference

Titre: Piezoelectric aluminum nitride films deposited by triode sputtering for surface acoustic wave devices
Auteurs: Assouar, M.B., Elmazria, O., Mortet, V., Jouan, P.-Y., Djouadi, M.A. and Alnot, P.
Journal: Ferroelectrics
Annee: 2002
Volume: 273
Pages: 249-254
Equipe: Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies

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