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Congrés - Conférences

Conference

Titre: High sensitivity pressure sensor in the range [0-100mTorr] based on surface acoustic wave device
Auteurs: Nicolay, P., Elmazria, O., Sarry, F., Marche, N., Bouvot, L. and Kambara, H.
Journal: Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium
Annee: 2006
Volume: 1
Pages: 1498-1500
Equipe: Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies

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