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2.
Elmazria, O., Mortet, V., El Hakiki, M., Assouar, M.B., Nesladek, M. and Alnot, P.
High velocity SAW using aluminum nitride film on unpolished nucleation side of freestanding CVD diamond
Volume 1 , page 139-142.
2002
http://www.scopus.com/inw...52297f8dde9f48f02c55c64e3
Equipe:
Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies
1.
Assouar, M.B., Elmazria, O., Mortet, V., Jouan, P.-Y., Djouadi, M.A. and Alnot, P.
Piezoelectric aluminum nitride films deposited by triode sputtering for surface acoustic wave devices
Volume 273 , page 249-254.
2002
http://www.scopus.com/inw...aa8488d083e3ddc04057c91cb
Equipe:
Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies
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