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Congrés - Conférences

Conference

Titre: Study of tantalum and iridium as adhesion layers for Pt/LGS high temperature SAW devices
Auteurs: Aubert, T., Elmazria, O., Assouar, B., Bouvot, L., Bournebe, Z., Hehn, M., Weber, S., Oudich, M. and Alnot, P.
Journal: Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium
Annee: 2009
Equipe: Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies

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