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Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies
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2011
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2.
Legrani, O., Elmazria, O., Pigeat, P., Bartasyte, A., Sarry, F. and Zhgoon, S.
AlN/ZnO/Si structure - A packageless solution for acoustic wave sensors
, page 492-495.
2011
http://www.scopus.com/inw...24c892e046832ec312c118621
Equipe:
Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies
1.
Legrani, O., Elmazria, O., Pigeat, P., Bartasyte, A., Zhgoon, S. and Talbi, A.
Deposition of crack-free 30 ?m AlN on IDT/ZnO/Si for wave guiding layer acoustic wave applications
, page 2313-2316.
2011
http://www.scopus.com/inw...f88951732f29fcaba8ba327ad
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Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies
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