Titre: | Deposition of crack-free 30 ?m AlN on IDT/ZnO/Si for wave guiding layer acoustic wave applications |
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Auteurs: | Legrani, O., Elmazria, O., Pigeat, P., Bartasyte, A., Zhgoon, S. and Talbi, A. |
Journal: | IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS |
Annee: | 2011 |
Pages: | 2313-2316 |
Equipe: | Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies |