Congrés - Conférences
Conference
| Titre: | Deposition of crack-free 30 ?m AlN on IDT/ZnO/Si for wave guiding layer acoustic wave applications |
|---|---|
| Auteurs: | Legrani, O., Elmazria, O., Pigeat, P., Bartasyte, A., Zhgoon, S. and Talbi, A. |
| Journal: | IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS |
| Annee: | 2011 |
| Pages: | 2313-2316 |
| Equipe: | Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies |