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Congrés - Conférences

Conference

Titre: Deposition of crack-free 30 ?m AlN on IDT/ZnO/Si for wave guiding layer acoustic wave applications
Auteurs: Legrani, O., Elmazria, O., Pigeat, P., Bartasyte, A., Zhgoon, S. and Talbi, A.
Journal: IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS
Annee: 2011
Pages: 2313-2316
Equipe: Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies

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