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Congrés - Conférences

Conference

Titre: Low temeparture alN thin films growth for layered structure saw and baw devices
Auteurs: Assouar, M.B., Elmazria, O., Hakiki, M.El., Alnot, P. and Tiusan, C.
Journal: IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics
Annee: 2005
Pages: 43-46
Equipe: Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies

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