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MEB-FIB

Ce microscope électronique à balayage avec faisceau d’ions focalisé (Helios Nanolab 600i) permet d’usiner des lames très minces prélevées dans des zones extrêmement précises des échantillons. Ceci en vue de leur observation au microscope électronique à transmission haute résolution ARM 200F.

Le MEB-FIB est équipé de deux canons : un canon à électrons et un canon à ions Gallium (Ga+).
La source d’électrons sert à imager la surface de l’échantillon selon le même principe qu’un microscope électronique à balayage conventionnel. Le second canon émet un faisceau d’ions Ga+ qui arrachent les atomes de l’échantillon en vue de son amincissement.

 


Le Microscope électronique à balayage avec faisceau d'ions focalisé fait partie des équipements acquis dans le cadre du projet Tube Daum avec un cofinancement de l'Union Européenne pour un montant total de 7.191.000 €. L'Europe s'engage en région Grand Est avec le Fonds européen de développement régional.