Equipements

Matériels d’élaboration

• 1 réacteur de pulvérisation RF

• 1 réacteur de pulvérisation DC à 2 cathodes magnétron

• 1 réacteur de pulvérisation DC pulsé à 2 cathodes magnétron travaillant à haute température

• 1 réacteur de pulvérisation HIPIMS à 3 cathodes magnétron

• 1 réacteur d’évaporation par arc cathodique

• 1 réacteur de CVD assisté par un plasma micro-ondes

• 1 réacteur mixte équipé de 3 sources magnétron et de 3 sources d’évaporation

Matériels de caractérisation

• 1 spectrophotomètre Cary 5000 UV-visible-proche infrarouge

• 1 spectrophotomètre à transformée de Fourier (50 à 4000 cm-1)

• 2 résistivimètres 4 pointes

• 1 effet Hall

• 1 spectromètre Raman multi-longueurs d’ondes

• 1 RHEED

• 1 ellipsometre visible in situ UHV

• 1 ellipsomètre UV-visible-PIR ex situ avec cellule Linkam