Matériels d’élaboration
- 1 réacteur de pulvérisation RF
- 1 réacteur de pulvérisation DC à 2 cathodes magnétron
- 1 réacteur de pulvérisation DC pulsé à 2 cathodes magnétron travaillant à haute température
- 1 réacteur de pulvérisation HIPIMS à 3 cathodes magnétron
- 1 réacteur d’évaporation par arc cathodique
- 1 réacteur de CVD assisté par un plasma micro-ondes
- 1 réacteur mixte équipé de 3 sources magnétron et de 3 sources d’évaporation
Matériels de caractérisation
- 1 spectrophotomètre Cary 5000 UV-visible-proche infrarouge
- 1 spectrophotomètre à transformée de Fourier (50 à 4000 cm-1)
- 2 résistivimètres 4 pointes
- 1 spectromètre Raman multi-longueurs d’ondes
- 1 ellipsometre visible in situ UHV
- 1 ellipsomètre UV-visible-PIR ex situ avec cellule Linkam