Centre de Compétences Micro et Nanotechnologies (CC MiNaLor)
Placement d’un échantillon dans une machine de lithographie optique en salle blanche
Salle de dépôt de couches minces pour le procès de micro-nano fabrication
Composant avec un ensemble de micro-dispositifs, dont certains sont électriquement connectés à une plaque PCB
Activités
Le Centre de Compétences (CC) MiNaLor rassemble des équipements et des compétences nécessaires à la mise en œuvre de procédés de micro et nanofabrication et assure le soutien en micro-nano-technologies aux projets scientifiques de l'IJL et de ses partenaires, académiques et industriels.
Ces procédés, parmi lesquels les lithographies optique et électronique, permettent de fonctionnaliser des matériaux ou d'en réduire les tailles latérales à une échelle nanométrique afin d'en modifier les propriétés.
Ces utilisations relèvent, d'une part, de la physique fondamentale, que ce soit pour les mesures physiques des matériaux ou l'étude des propriétés spécifiques des nanostructures et, d'autre part, de l'ingénierie pour le développement de micro-capteurs intégrés.
Equipements
- Aligneur de masque pour lithographie optique Suss MicroTec MJB4
- Equipement de lithographie optique sans masque SmartPrint
- Appareil de lithographie électronique Raith 150-2
- Profilomètre mécanique Tencor P6
- Micro Diamond Scriber MR200
- Equipement de Gravure ionique par faisceaux d’ions IBE 4Wave, assisté d’un spectromètre de masse d’ions secondaires SIMS Hiden
- Equipement de Plasma O2 Tucano
- Kenosistec KS400HR
- Bâti de dépôt par évaporation avec technologie à canon à électron PLASSYS MEB400 S
- 3 microscopes optiques Leica
- 5 sorbonnes avec bac à ultrasons et bain thermostaté
- 4 postes de traitement des résines avec tournettes et plaques chauffants
- 2 équipements de microsoudure
- Découpe à fils horizontale, verticale et découpe à disque
Exemples de travaux
Publications :
- A tunable magnetic metamaterial based on the dipolar four-state Potts model, Nature Materials 17, 1076 (2018), D. Louis et al.
- Thermal Contribution to the Spin-Orbit Torque in Metallic-Ferrimagnetic Systems, Physical Review Applied 9, 064032 (2018), T. H. Pham et al.
- Intrinsic versus shape anisotropy in micro-structured magnetostrictive thin films for magnetic surface acoustic wave sensors, Smart Materials and Structures 28, 12LT01 (2019), H. Mishra et al.
- SAW RFID devices using connected IDTs as an alternative to conventional reflectors for harsh environments, in IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control (2019), C. Floer et al.
- Interfacial influence on electrical injection and transport characterization of CoFeB|MgO|GaAs-InGaAs quantum wells hetero-structure, Applied Surface Science 473, 230 (2019), Y. Tian et al.
Réalisations :
- Prise de contacts électriques sur nanostructures
- Mesures d'effet Hall
- Guide d'ondes coplanaires
- Electrodes interdigitées pour la production et la détection d'ondes acoustiques
Travailler avec nous
Le CC MiNaLor vous propose les prestations suivantes :
- Procédés de micro et nanofabrication
- Réduction des tailles latérales à une échelle nanométrique
- Création de nanostructures (top-down)
- « Lab on chip »
- Dispositifs microfluidique
- Electronique de spin : Jonctions tunnel, Dispositifs à paroi
- Micro et nano-antennes
- Membranes piézoélectriques
- Caractérisations de nanofils thermoélectriques uniques
- Contacts sur structures semi-conductrices
- Découpe précise des cristaux plans nus ou déjà structurés (dépôt ou microcomposants)
- Intégration des micro-nano composants sur carte PCB
Membres
Chercheur permanent
Personnel support
- Demba BA
- Laurent BADIE
- Sophie BRAVETTI-PLONEIS
- Sébastien GEISKOPF
Contact
Responsable du centre de compétences
Thierry AUBERT
thierry.aubert@univ-lorraine.fr
+ 33 (0)3 72 74 25 27
Nancy-Artem
Institut Jean Lamour
Campus Artem
2 allée André Guinier - BP 50840
54011 NANCY Cedex
