Centre de Compétences Micro et Nanotechnologies (CC MiNaLor)

• Aligneur de masque pour lithographie optique Suss MicroTec MJB4
• Equipement de lithographie optique sans masque SmartPrint
• Appareil de lithographie électronique Raith 150-2
• Profilomètre mécanique Tencor P6
• Micro Diamond Scriber MR200
• Equipement de Gravure ionique par faisceaux d’ions IBE 4Wave, assisté d’un spectromètre de masse d’ions secondaires SIMS Hiden
• Equipement de Plasma O2 Tucano
• Kenosistec KS400HR
• Bâti de dépôt par évaporation avec technologie à canon à électron PLASSYS MEB400 S
• 3 microscopes optiques Leica
• 5 sorbonnes avec bac à ultrasons et bain thermostaté
• 4 postes de traitement des résines avec tournettes et plaques chauffants
• 2 équipements de microsoudure
• Découpe à fils horizontale, verticale et découpe à disque

Publications :

Spintronic

Spin-to-charge conversion by spin pumping in sputtered polycrystalline BixSe1−x , Isabel C. Arango, Alberto Anadón, Silvestre Novoa, Van Tuong Pham, Won Young Choi, Junior Alegre, Laurent Badie, Andrey Chuvilin, Sébastien Petit-Watelot, Luis E. Hueso, Fèlix Casanova, and Juan-Carlos Rojas-Sánchez; Phys. Rev. Materials 7, 075402  (2023)

Optical switching

Spin–orbit torque switching of a ferromagnet with picosecond electrical pulses, Kaushalya Jhuria, Julius Hohlfeld, Akshay Pattabi, Elodie Martin, Aldo Ygnacio Arriola Córdova, Xinping Shi, Roberto Lo Conte, Sebastien Petit-Watelot, Juan Carlos Rojas-Sanchez, Gregory Malinowski, Stéphane Mangin, Aristide Lemaître, Michel Hehn, Jeffrey Bokor, Richard B. Wilson & Jon Gorchon ; Nature Electronics volume 3, pages 680–686 (2020)

Size effect on single pulse all-optical helicity-independent switching in GdFeCo disk arrays, Danny Petty Gweha Nyoma, Maxime Vergès, Michel Hehn, Daniel Lacour,  Julius Hohlfeld,Sebastiaan van Dijken, Grégory Malinowski, Stéphane Mangin and François Montaigne ; Appl. Phys. Lett. 123, 052405 (2023).

Optoelectronics

Controlling the helicity of light by electrical magnetization switching, Pambiang Abel Dainone, Nicholas Figueiredo Prestes, Pierre Renucci, Alexandre Bouché, Martina Morassi, Xavier Devaux, Markus Lindemann, Jean-Marie George, Henri Jaffrès, Aristide Lemaitre, Bo Xu, Mathieu Stoffel, Tongxin Chen, Laurent Lombez, Delphine Lagarde, Guangwei Cong, Tianyi Ma, Philippe Pigeat, Michel Vergnat, Hervé Rinnert, Xavier Marie, Xiufeng Han, Stephane Mangin, Juan-Carlos Rojas-Sánchez, Jian-Ping Wang, Matthew C. Beard, Nils C. Gerhardt, Igor Žutić & Yuan Lu ; Nature volume 627, pages 783–788 (2024).

Lab-on-chip

Love Wave Sensor with High Penetration Depth for Potential Application in Cell Monitoring; Pedro A. Segura Chávez, Jérémy Bonhomme, Mohamed Lamine Fayçal Bellaredj, Lucile Olive, Denis Beyssen, Mourad Oudich, Paul G. Charette and Frédéric Sarry; Biosensors volume 12, 61 (2022).

Microsensors

Magnetic SAW RFID Sensor Based on Love Wave for Detection of Magnetic Field and Temperature; Prince Mengue, Laurine Meistersheim, Sami Hage-Ali, Cécile Floer, Sébastien Petit-Watelot, et al.; IEEE Journal of Radio Frequency Identification, 7, pp. 528-535 (2023)

Design and modeling of a device combining single-cell exposure to a uniform electrical field and simultaneous characterization via bioimpedance spectroscopy; Bettenfeld, Rémi, Claudel, Julien, Kourtiche, Djilali, et al.. Sensors, vol. 23, no 7, pp. 3460 (2023)
 

Réalisations :

• Prise de contacts électriques sur nanostructures
• Mesures d'effet Hall
• Guide d'ondes coplanaires
• Electrodes interdigitées pour la production et la détection d'ondes acoustiques

Le CC MiNaLor vous propose les prestations suivantes :

• Procédés de micro et nanofabrication
• Réduction des tailles latérales à une échelle nanométrique
• Création de nanostructures (top-down)
• « Lab on chip »
• Dispositifs microfluidique
• Electronique de spin : Jonctions tunnel, Dispositifs à paroi
• Micro et nano-antennes
• Membranes piézoélectriques
• Caractérisations de nanofils thermoélectriques uniques
• Contacts sur structures semi-conductrices
• Découpe précise des cristaux plans nus ou déjà structurés (dépôt ou microcomposants)
• Intégration des micro-nano composants sur carte PCB

Chercheur permanent

• Thierry AUBERT

Personnel support

• Demba BA
• Laurent BADIE
• Sophie BRAVETTI-PLONEIS
• Sébastien GEISKOPF