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Production scientifique

Publication single view


Titre: Influence of substrate temperature on the structural, dielectric and optical properties of RF magnetron sputtered Ta2O5 films
Auteur(s): S. Uthanna, S.V. Jagadeesh Chandra, G. Mohan Rao et J.F. Pierson
Journal: IOP Conference Series: Materials Science and Engineering
Année: 2010
Volume: 8
Pages: 012025
Projet: Département CP2S : EFCM

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