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Production scientifique

Publication single view

Article

Titre: Performances of interferometric optical transmission diagnostic for in situ and real-time control of magnetron sputtering deposition process
Auteur(s): F. Perry, A. Billard et P. Pigeat
Journal: Measurement
Année: 2008
Volume: 41
Issue: 5
Pages: 516-525
Projet: Département CP2S : EFCM

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