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Publications: Articles

Article

Titre: Description of a hybrid PECVD-PVD-process: Application to Zn-Si-O and Ti-Si-O composites thin films
Auteurs: Daniel, A., Duguet, T. and Belmonte, T.
Journal: Applied Surface Science
Annee: 2007
Volume: 253
olabel_issue: 24
Pages: 9323-9329
Equipe: Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS

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