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| Titre: | Columnar growth of AlN films prepared by r.f. magnetron sputtering : role of the 103 planes |
|---|---|
| Auteurs: | Brien, V., Miska, P., Bolle, B. and Pigeat, P. |
| Journal: | Journal of crystal growth |
| Annee: | 2007 |
| Volume: | 307 |
| olabel_issue: | 1 |
| Pages: | 245-252 |
| Equipe: | Département CP2S : Elaboration et Fonctionnalité de Couches Minces |