Titre: | Production of N and O atoms in flowing Ar-N2-O2 microwave discharges with separated N2 and O2 pulsed gases |
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Auteurs: | Bernardelli, E., Ricard, A. and Belmonte, T. |
Journal: | Plasma Sources Science and Technology |
Annee: | 2011 |
Volume: | 20 |
Pages: | 025012 |
Equipe: | Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS |