Titre: | AlN/ZnO/Si structure - A packageless solution for acoustic wave sensors |
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Auteurs: | Legrani, O., Elmazria, O., Pigeat, P., Bartasyte, A., Sarry, F. and Zhgoon, S. |
Journal: | Proceedings of IEEE Sensors |
Annee: | 2011 |
Pages: | 492-495 |
Equipe: | Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies |