Congrés - Conférences
Conference
| Titre: | AlN/ZnO/Si structure - A packageless solution for acoustic wave sensors |
|---|---|
| Auteurs: | Legrani, O., Elmazria, O., Pigeat, P., Bartasyte, A., Sarry, F. and Zhgoon, S. |
| Journal: | Proceedings of IEEE Sensors |
| Annee: | 2011 |
| Pages: | 492-495 |
| Equipe: | Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies |