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Congrés - Conférences

Conference

Titre: AlN/ZnO/Si structure - A packageless solution for acoustic wave sensors
Auteurs: Legrani, O., Elmazria, O., Pigeat, P., Bartasyte, A., Sarry, F. and Zhgoon, S.
Journal: Proceedings of IEEE Sensors
Annee: 2011
Pages: 492-495
Equipe: Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies

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